真空機組應安裝在平整堅實基礎上，保證設備的務重強度。開機前水箱灌滿水，打開水泵進水閥門。水泵嚴禁脫水空轉及反轉，以防損壞水源。真空機組應先啟動水源，水噴射真空開始工作，然后打開蒸汽開關，蒸汽泵開始工作。羅茨—水噴射機組應先啟動水源，水噴射真空開始工作，真空度到-0.092Mpa時，才能啟動羅茨真空泵，低于真空-0.092Mpa，應立即停止羅茨真空泵工作，建議安裝設備控制電器開關，便于操作。
使用時循環水箱應經常補充冷卻水更換循環水，降低工作水溫，嚴防循環水中有顆粒雜物。真空機組停機時應先關閉蒸汽閥門，停止羅茨真空泵，打開真空罐上放空閥門，降低真空度。然后停止工作。否則產生倒吸及損壞設備。泵都有起始工作壓強，傳統的高真空泵都在幾Pa的范圍。
真空機組開關機需要注意哪些事項？因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間，因為隨著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達到工作真空度的時間是有要求的，預抽時間越長，進入工作真空度的時間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率。
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優異的高真空性能，同時在中真空范圍也有超強的抽氣能力。
這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級泵易于處于高流量狀態；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預抽負擔。分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經過時間壓力降低一個數量級的規律，因此，機組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優勢。